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Realizzazione di film sottile di materiale piezoelettrico e misure preliminari
Mattia Furlanetto - Department of Industrial Engineering, University of Padova
L’oggetto di questo lavoro di tesi è la realizzazione di un film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering e la successiva esecuzione di misure elettriche preliminari. Tali misure consistono in una prima verifica del fenomeno della piezoelettricità nel materiale depositato, del suo andamento e della sua entità. Nel primo capitolo sono introdotti i film sottili con le loro applicazioni, segue poi una descrizione panoramica delle varie tecniche di realizzazione a partire dalla deposizione chimica e fisica da fase vapore fino ad arrivare ai metodi da fase liquida e solida. Nel secondo capitolo è approfondita la tecnica dello sputtering, che trova una dettagliata descrizione di tutte le sue varianti, con particolare attenzione al sistema magnetron perché usato in questo lavoro.
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Fonte: Tesi di Laurea, Università degli Studi di Padova, Anno Accademico 2012- 2013
Parole chiave: Misure Elettriche
